第兩百一十一章 來自林廠長的指點！
將新拿下的訂單彙總告知孫德茂之後，林默出門走向芯片車間，
芯片車間大門是兩扇對開的鋁合金門，上方掛著一塊白底藍字的標識牌“芯片車間（潔淨區），非授權人員禁止入內”。
林默伸手推開側麵的小門，經過風淋室，熟練地踩上粘塵墊，雙臂平舉轉了兩圈，讓高速氣流把身上可能附著的灰塵吹掃乾淨。
然後換上鞋套，推開第二道門，走進車間內部。
整層樓麵被打通成一個完整的潔淨區域，地麵鋪設了淺灰色的防靜電水磨石。
頭頂的送風口每隔兩米一個，正以低速穩定的氣流，向下輸送經過高效過濾的潔淨空氣。
靠牆一側排著一列淺藍色的設備機櫃，櫃體側麵的指示燈在有序地閃爍。
車間正中是光刻機的工作平台，一台灰白色的步進式投影光刻機占據了大約四平方米的地麵，機體表麵貼著一行日文銘牌，旁邊連著複雜的冷卻管路和真空管線。
光刻機側麵是一台自動塗膠顯影一體機，機械臂在防護罩內緩緩移動，正在進行空載試運行的軌跡標定。
車間裡隻有三四個人，穿著統一的白色防靜電服，帽子罩住頭發，口罩遮住下半張臉，隻剩眼睛露在外麵。
小周站在光刻機旁邊，手裡拿著一本翻到中間的設備日誌，一抬頭就看見了林默站在門口，立刻合上日誌，快步走了過來。
他額角有一層細密的汗珠，顯然已經在裡麵忙了一整個下午了。
“廠長！您怎麼過來了？”
小周走近幾步，笑著問道。
林默掃了一圈車間裡的設備布局，目光在光刻機和旁邊正在閃爍的塗膠顯影機之間來回移動了一下。
“剛打完幾通電話，新產品訂單基本落地了，想著冇事就過來看看這邊的情況。”
“你們這裡怎麼樣？設備方麵有冇有遇到什麼問題？”
“目前設備基本上都到了。”
小周翻開手裡的設備日誌，手指順著一條標注著日期的條目往下滑。
“前端的光刻機和塗膠顯影一體機已經完成了安裝，目前正在做空載和帶載的聯合調試，後端的刻蝕機出了一點小問題。”
說著，小周朝車間靠裡的方向指了一下，“錢工正在處理，我在前端盯這台塗膠顯影機和光刻機的參數匹配，跟他打配合。”
小周壓低了一點聲音，“廠長，小日子的工程師特彆不好說話，堅持說設備已經調試完畢了，但錢工測出來的刻蝕均勻性數據跟規格書對不上，兩邊正掰扯呢。”
林默點了點頭，冇有立刻往那邊去。
他一邊往前走，一邊偏過頭看了看小周：“最近學得怎麼樣了？這套設備的流程有冇有搞明白？”
小周撓了撓後腦勺，語氣裡帶了一層不好意思：
“廠長，說實話，目前隻搞懂了一部分。”
“光刻機的光學對準和曝光參數倒是摸到一點門道了，但後麵的刻蝕和沉積那兩塊，涉及到的工藝氣體和等離子體反應，我還在看資料。”
“白天上班的時候跟在錢工後麵看實操，晚上回到宿舍翻他給我列的那幾本參考書。”
他頓了頓，“有些地方太深奧了，反應機理那一塊，看到第三遍才能勉強理解一半。”
林默聽到這話，腳步放慢了一些，轉頭看了小周一眼，然後笑著拍了拍他的肩膀：
“慢慢來，不是一日一朝的功夫，芯片製造涉及到的物理和化學，正常學它個兩三年才能獨立操作。”
“你能在這麼短的時間裡把光刻部分摸入門，已經算快的了，水滴石穿，自然就好了。”
小周用力點了點頭，然後開口：“對了，廠長，我有個想法不知道可不可行。”
“咱們廠裡後續肯定需要自己的芯片工藝和維護人才，一直靠從外麵挖人，終歸成本高，而且人家來了之後歸屬感也不夠。”
“我尋思著，能不能從廠裡現有的大學生裡挑一批人出來，組個專門的培訓小組？”
“讓他們從基礎開始跟著學，後麵產線穩定了直接就能頂上去。”
林默看著小周，目光裡帶著一層認可和讚許。
“這件事情上，你跟我想到一塊兒去了，我本來也打算過兩天找趙誌遠聊這事兒，他在管理大學生那一塊已經做順手了，選一批有意向，底子好的學生出來。”
“回頭再跟幾位清華的教授商量一下，如果他們那邊的研究生有願意走這個方向的，也一並帶過來。”
“先培養一個十人左右的種子隊伍，後續才能像滾雪球一樣擴大規模。”
“好的！”
小周高興的點點頭：“前兩天跟趙哥一起吃飯的時候還聊到這個，他說他現在帶的那批學生裡，有好幾個對這一塊特彆有熱情，理論知識基礎也不錯，就是缺實操機會。”
林默點點頭：“那就更好了，回頭你跟他碰一下，把名單先列出來，我看看之後安排統一的培訓計劃。”
說著話，兩人已經走到了車間裡側靠近刻蝕設備的位置。
眼前，一台深灰色的反應離子刻蝕機占據了約三米乘兩米的地麵，設備外殼塗著工業標準的淺灰漆。
正麵麵板上排列著一排壓力表和氣體流量指示計，管路易清洗管路從設備頂部伸出來連接到牆上的氣瓶櫃。
錢學明正彎腰蹲在設備側麵，一手拿著一隻萬用表，另一手捏著一份折疊過的設備手冊，眉頭皺著。
他旁邊站著一個穿著淺藍色工作服，戴著安全帽的小日子工程師，手裡也拿著一張參數表，正用手指敲打著紙麵，嘴裡說著蹩腳的中文。
“錢，我們的設備不可能出問題，出廠已經檢查過，一定是你們的問題。”
錢學明正抬起頭準備爭論，看到了旁邊的林默，連忙把話收回。
“廠長，您來了。”
“怎麼了，出了什麼問題？”
“這邊正在處理一個刻蝕機的調校問題，理論上應該冇問題，但實測的均勻性數據跑偏了差不多百分之八。”
“我認為是他們出廠設備的問題，但是他們不承認。”
林默走過去，站在設備側麵，看了一眼麵板上正在顯示的射頻功率值和氣體流量參數，又低頭掃了一下錢學明手裡的設備手冊上那一頁的參數表。
小日子工程師站在一旁，用略微生硬的中文說道：
“林先生，我們設備出廠前已經過全部檢測，刻蝕均勻性在規格範圍內，貴方的測試數據可能有誤差，建議檢查測試方法。”
錢學明聽了眉頭又緊了一層，但他冇有當場反駁，隻是朝林默的方向看了過來。
林默冇有急著接話。
他俯下身仔細看了看設備上連接的幾根氣體管路，又伸手感受了一下射頻電源附近的工作溫度。
然後在腦海裡快速複盤了一遍這種平行板結構反應離子刻蝕機的工作原理。
這類設備的刻蝕均勻性受兩個關鍵因素影響最大。
一是極板間距的機械平行度。
二是射頻耦合腔內的電場分布對稱性。
出廠數據通常在標準條件下測得，但設備經過長途海運和安裝過程中的水平調整，極板之間的平行度極有可能發生微小偏移。
“錢工，可以嘗試先把下電極版的水平度再調一”
林默直起腰來，指了指設備上腔體側麵的幾個調節螺栓。
“安裝過程中有搬運震動，電極板的平行度可能已經偏離了出廠時的狀態。”
“用薄片塞尺在電極板四角走一遍，看看間隙差彆是不是超過二十微米。”
“如果是機械平行度的問題，調平之後再把射頻功率加載上去做第二輪的均勻性測試，效果應該就會出來了。”
錢學明順著林默的手指方向看了一眼那幾個螺栓，立刻明白了他的邏輯，瞬間反應過來，重重點了一下頭。
“廠長，我明白了，我馬上去拿塞尺。”
小日子工程師站在旁邊，聽到林默的這個建議之後，張了張嘴，嘴唇動了一下但最終冇有說出反駁的話，隻是把手裡的參數表折好收進口袋裡。
錢學明拿出塞尺俯下身去，繞電極板走了一圈，回來時手裡的便簽本上記了幾個數字，眉頭展開了大半：
“廠長，您說得冇錯，設備右後方的間隙比左側大了大概四十微米，正好是問題所在，調整水平度之後再做一輪測試，八成能達標。”
林默點了點頭，語氣肯定：“設備運過來經過長途運輸，安裝過程也有振動，出廠數據隻能作為參考，最終要以現場實測為準，你按照這個方向調就行了。”
錢學明立刻招呼旁邊的年輕技術員開始鬆螺栓調平。
小日子工程師在旁邊站了一會兒，看著錢學明快速完成調整，鎖緊固定螺栓，重新啟動設備，自始至終冇有再開口，隻是眼神中些許有一些震撼。
大約十五分鐘後，設備麵板上顯示的均勻性數據從剛才的偏差百分之八下降到了百分之二點三，完全進入了規格範圍。
刻蝕機側麵紅色的“報警”指示燈滅了，亮起了穩定的綠色工作燈。
“行了！”
錢學明直起腰來，用力拍了一下設備側麵的防護板，轉頭看向林默的時候，語氣輕快了很多。
“廠長，多虧您來了，要不然我還得掰扯至少兩天。”
說著，錢學明朝小日子工程師的方向偏了一下頭，聲音壓低了半度。
“他非說設備冇問題，讓我們自己找測試方法的原因，死活不願意讓我們動設備內部的機械結構。”
林默笑了笑，聲音淡定：“冇事，設備是我們買的，怎麼使用，怎麼調整，是我們的事，他們的售後手冊隻是參考，不是聖經。”
80年代初期，小日子設備廠對國內市場確實有很多技術保留，有些工程師把設備的內部調整當作黑箱處理，不讓客戶碰，怕泄露核心技術。
甚至還有過買一套設備連關鍵管路怎麼走的圖紙都不給，最後隻能現場拆機逆向測繪的情況，連買馬桶都要附帶圖紙的故事都有過。
林默擺了擺手，再一次強調。
“錢工，現在我們是甲方，他們的服務態度遲早會跟著市場走，你該怎麼做就怎麼做，不用太在意他們的看法。”
錢學明聽了連連點頭。
他看了一眼已經穩定運行的刻蝕機，語氣裡帶著一層壓不住的興奮。
“廠長，目前前端的光刻機已經能跑通最基本的曝光流程了，後端的刻蝕機剛才這個問題一解決，整條前道工藝線的大毛病基本都消除了。”
“剩下還有一些小的問題，主要是溫度控製和氣路切換的時序優化，預計最多三個星期，整條線就能進入試生產階段，開始跑第一片晶圓。”
林默點了一下頭，然後抬起手來，拍了拍錢學明的肩膀：
“好，就按這個節奏推進，不要太急。”
“每一步都穩紮穩打，該測試的測試，該記錄的數據記錄完整。”
“試生產階段不求快，但每一步都要拿得出可追溯的工藝數據，有什麼問題隨時溝通。